浅析精密定位系统中的传动自锁

由于多轴精密定位系统的五个直线移动部件，特别是移动电容板、微调电容的驱动及控制存在着较高的定位精度、重复定位精度和较小的步距，且无严格的快速响应性要求，系统的驱动控制采用位置闭环的方式是比较合适的。电机驱动同电机直接连接的滚珠丝杠实现运动的旋转-直线转换，采用高分辨率的直线感应同步器作为直线位置闭环反馈元件。控制原理：考虑到各驱动对象的驱动主要为微动步进方式，轴向负载变化不大，无多档变速要求，驱动电机拟采用混合式步进电机直接驱动。但由于短路片、移动电容板A‰B负载力矩大于20N*m，且采用的滚珠丝杠传动不能自锁，而大于20N*m高转矩步进电机特别是带有失电制动器的步进电机定货比较困难，因而短路片、移动电容板的驱动选用交流伺服电机MDFKABS090-22，60及与之匹配的位置型伺服EVS-9325EP；微调电容的驱动选用步进电机SIMOSTEP1FL3061及步进电机驱动器FMSTEPDRIVE；耦合环的驱动由于采用的滚动丝杠传动具有自锁能力，故选用五相混合式步进电机及其适配的步进电机驱动器。位置闭环系统的精度理论上决定于闭环位置传感器的精度。本系统各驱动对象都采用1级直线感应同步器作为位置反馈传感器，配用相应的L级数显表实现直线位置的数字化功能，完全可以满足该系统对反馈传感器的精度要求。 我要打印 IE收藏 放入公文包